精密電主軸主要有帶冷卻系統的殼體，定子、轉子、軸承等部分組成，工作時通過改變電流的頻率來實現增減速度。由于精密電主軸要實現高速運轉，一些零部件質量將直接影響著電主軸的性能：

　　1.轉軸

　　此部件為精密電主軸的主要回轉體。其制造精度直接影響電主軸的終精度。成品轉軸的形位公差尺寸精度要求很高，轉軸高速運轉時，由偏心質量引起震動，嚴重影響其動態性能，必須對轉軸進行嚴格動平衡測試。部分安裝在轉軸上的零件也應隨轉軸一起進行動平衡測試。

　　2.高速精密軸承

　　因為電主軸的z高轉速取決于軸承的功能、大小、布置和潤滑方法，所以這種軸承必須具有高速性能好、動負荷承載能力高、潤滑性能好、發熱量小等優點。近年來，相繼開發了動靜承、陶瓷軸承、磁浮軸承。動靜承具有很高的剛度和阻尼，能大幅度提高加工效率、加工質量、延長刀具壽命，降低加工成本；而且這種壽命為半無限長。磁浮主軸的高速性能好、精度高、容易實現診斷和在線監控。但這種主軸由于電磁測控系統復雜，價格十分昂貴，而且長期居高不下，至今未能得到廣泛應用。目前市場上應用廣泛的就是陶瓷軸承，一般的角接觸陶瓷軸承內外圈都是鋼圈，滾動體是陶瓷材料。陶瓷具有密度小，剛度好，熱膨脹系數小等優點。而且在理論計算和接觸疲勞試驗和壓碎試驗表明，混合式陶瓷軸承首先失效的是鋼圈而不是陶瓷球。由于前面三種軸承理論壽命均為無窮大，特別是磁懸浮軸承還具有自動調節偏心等優點，在未來超高速機床市場上，隨著技術的發展，磁懸浮軸承應是發展方向。而在一般的高速加工機床中，混合式陶瓷軸承或純陶瓷軸承也將具有廣泛的使用場合。

　　3.潤滑系統

　　采用良好的潤滑系統對精密電主軸性能有著重要的影響。典型的潤滑方法是采用油霧潤滑或氣油混合物潤滑。前者主是把潤滑油霧化在對軸承進行潤滑，潤滑油不可再回收，對空污染較嚴重。后者是直接把潤滑油利用高壓空氣吹進軸承，潤滑作用的同時還起到散熱的作用。